事業案内

200mm SMIFポッドオープナー(テーブル置き型)

簡単操作で機能充実なオープナーをご提案

高速・簡単・安全
様々な安全機能と、高速開閉動作で、SMIFポッド開閉時のストレスを低減
300mm、450mm製品はこちらから

200mm SMIFポッドオープナーの特長

シンプルな操作と素早い開閉
  • 開/閉 各ボタン 一回押しで動作開始
    開動作時間:10秒以下(特別仕様 7秒)
    閉動作時間:11秒以下(特別仕様 8秒)
優れた標準安全機能
  • ウェーハ飛出し検知
  • 過負荷センサー
  • 昇降軸エリアセンサー(オプション)
  • 排気ファン回転検知
  • EMOボタン(動作非常停止)
    安全確認後、EMOボタン解除で開若しくは閉動作選択可能
  • 漏電ブレーカ及びサーキットプロテクタ
シンプルな表示
  • READY(動作可能)
    φ10mmLEDでの明確な認識
  • SMIF pod在荷(Pod In Place)
  • エラー(ERROR)
クリーン環境維持
  • 底面の排気ファンで効率よく排気
    (背面ファン、排気ダクトはオプション)
コンパクトで軽量
  • W=350mm, D=450mm, H=635mm
  • 背面昇降軸幅=245.6mm
  • 重量 約20kg

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