事業案内

クリーンルーム内自動搬送システム 実施例

工事概要
名称 クリーンルーム内自動搬送システム
概要 半導体工場では人が介在すると埃の発生源となるため、全自動で生産ラインを構築します。
工事設備内容
搬送距離合計 4,000m
装置 OHS(天井空間にリニアモータを利用した搬送装置)
OHT(ストッカや製造装置間をキャリア搬送するリニアモータ)
RGV(ロボットを搭載した有軌道の無人搬送車)
ストッカ(カセット収納する自動倉庫)
総合管理システム

ページの先頭に戻る